光学精密隔振平台技术指标: ■平面度: 0.05mm/m2 ■表面粗糙度: 0.8m ■固有频率;x方向:1.0Hz~1.5Hz y方向:1.0Hz~1.5Hz ■减振效率:x方向<5Hz时:88%~94% y方向<5Hz时:86%~92% x方向...